易纯污染,只为干净空间

高效 / 环保 / 节能

易纯产品和干净室体系处理筹划广泛应用于电子工业、半导体系体例造业、航空航天、周详仪器仪表、医疗卫生、生物制药、干净手术室、生物实验室、食品保健、光纤光缆、科研教授教化等多个范畴,在生物制药、电子工业、干净手术室行业肯定了抢先地位。
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光学微电子污染工程|光学无尘车间工程|微电子干净室处理筹划
光学微电子污染工程之定义为将必定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物清除,并将室内之温湿度、干净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。

 

光学微电子污染工程亦名无尘室或清净室,今朝已经是半导体、周详制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业弗成或缺的重要举措措施。近几年来,由于技巧之创新生长,关于产品的高周详度化、渺小型化之需求更加急切,如超大年夜型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技生长上极其看重的项目,而我公司的设计理念及施工技巧内行业中则处于抢先地位。

光学微电子污染工程普通包含:
1、 干净临盆区
2、 干净帮助间(包含人员污染用房、物料污染用室和部分生活用室等)
3、 管理区(包含办公、值班、管理和歇息等)
4、 设备区(包含污染空调体系应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

光学微电子污染工程污染道理
气流→初效污染→空调→中效污染→风机送风→管道→高效污染风口→吹入房间→带走尘埃细菌
等颗粒 → 回风百叶窗→初效污染 反复以上过程,便可达到污染目标。
光学微电子污染工程污染参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
均匀风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 夏季>16℃;夏季 <26℃;动摇±2℃。
温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%阁下为好;电子车间湿度略高以避免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风弥补量是总送风量的10%-30%;照度300LX。


光学微电子污染工程构造材料
1. 污染厂房墙、顶板材普通多采取50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美不雅、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等普通采取公用氧化铝型材制造。
2.空中可采取环氧自流坪地坪或高等耐磨塑料地板,有防静电请求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴污染保温后果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架,美不雅干净,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜干净。
 

光学微电子污染工程处理筹划:
污染工程的设计过程当中,应加强对光学微电子行业污染工程设计筹划分析懂得,根据该工程是新建工程或许是旧厂房改革工程,并结合其详细的临盆工艺、临盆流程等请求肯定其须要的干净度、温湿度。再根据该工程的详细情况,同时还要推敲到临盆厂家的经济遭受才能,综合各类身分来肯定采取何种污染筹划,如许才可设计出一个能满足甲方临盆应用请求、工程造价公道、经济节能实用的筹划。
1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个最传统的污染空调体系的设计筹划。组合式空气处理机组里含有各类功能段,如混淆段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中心段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组供给。
长处:
A.空气处理后果好,因空气经过集中处理,在送风过程当中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;
B.比较实用于有集中冷源的或是较大年夜的厂房;
C.空调冷热源可与厂房浅显空调体系适用或自力冷热源;
D.维修频率较低;
E.车间的噪音低。

缺点:
A.须要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另须要有放置组合式空气处理机组的空调机房,如25000m3/h的组合式空气处理机组,经常使用外形尺寸为6450×1850×2250mm阁下。关于旧厂房改革项目来讲比较艰苦空出一个20-30┫的机房的;
B.造价高。
特点:
A.建议新风经过集中处理后再与回风混淆,如许可以增添表冷段的冷处理包袱;
C.这类计整洁般可以实用干净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的污染无尘厂房。
2、光学微电子行业污染工程设计筹划分析之水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种筹划比较,这是比拟较较简单的空调筹划。它可以大年夜大年夜地减少机房的面积,水冷柜机可以根据详细的情况安排于较小机房内或污染车间内,增压风柜也能够安排于机房内或吊在机房内或在夹层内。
长处:
A.空气处理后果较好的,处理过后的空气在送风过程当中被污染程度低。送风的温度、湿度控制后果可以达到较好的控制。重要在空气处理机组(增压风柜)里停止控制;
B.安排灵活。自带冷源;
C.大年夜小厂房、新旧厂房都实用;
D.维修频率较低;
E.车间噪音低。
缺点:
A.须要小面积的机房。须要有冷却塔、冷却水泵的摆放地位;
B.空调机组与空调剂理机组要集中安排;
C.造价较低。特点:这类筹划可所以一次回风也可所以二次回风,详细根据车间的大年夜小情况而定;这类计整洁般可以实用于干净度为千级、万级、十万级等的污染无尘厂房。
 
3、光学微电子行业污染工程设计筹划分析之分体空调柜机++FFU送风口
这是最简略单纯的一个空调筹划。是直接将分体空调柜机安排于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单位FFU均匀安排于吊顶天花。这个筹划实用于对室内温湿度精度请求不高的无尘车间。
长处:
A.不须要占用机房面积,安排很灵活的;
B.可以满足空气的干净度;
C.造价最低。如此类无尘车间初投资约须要40万;
D.送风均匀度好。
缺点:
A.温湿度控制较差;
B.可以满足空气的干净度;
C.FFU的维修频率高。
4、光学微电子行业污染工程设计筹划分析之无尘车间的特点
A、无尘车间的干净度:
LCD制屏的简单流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层分布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
在本设计里是指末尾工艺的一些无尘车间,其污染干净度普通为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主如果这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其干净度普通为万级或十万级。
B、室内空气参数请求 :
(1)温湿度请求:温度普通为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大年夜。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取以下的最大年夜值:非单向流干净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;包管室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。
(3)送风量大年夜。为了满足干净室内的干净度及热湿均衡,须要较大年夜的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,假设是万级,送风量就须要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);假设是十万级,送风量就须要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
 
光学微电子行业污染工程设计筹划分析关于惯例电子厂房干净室空调的设计,应根据电子厂房的临盆工艺请求及甲方的经济条件来选用哪一种空调设计筹划,以满足临盆工艺的请求作为条件。根据以往经历,关于请求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调筹划;关于请求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,详细的筹划选择根据详细情况而定。

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关键词:光学微电子无尘室工程无尘污染车间

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